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[高分]
High-quality GaN thin film deposition at low temperature by ECR plasma-assisted sputter deposition method and its dependence of sapphire substrate misorientation angle ECR等离子体辅助溅射沉积法低温沉积高质量GaN薄膜及其对蓝宝石衬底取向偏差角的依赖性
相关领域
材料科学
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蓝宝石
沉积(地质)
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溅射沉积
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薄膜
光学
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