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标题
Atomic layer deposition of metal and metal oxides: Mechanisms, challenges, and future prospects
金属和金属氧化物的原子层沉积：机理、挑战和未来展望
相关领域
原子层沉积 材料科学 金属 沉积（地质） 图层（电子） 冶金 化学工程 金属涂层 镍 纳米技术 薄膜 化学气相沉积 过渡金属 X射线晶体学 真空沉积
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2025.183864
DOI
10.1016/j.jallcom.2025.183864 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Vu Hung Anh Tran; S. Cathrin Lims; Nadia Anwar; Muqarrab Ahmed; Nazia Iram; et al
出版日期：2025-09-22
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ongkianwhww 在 2025-12-30 20:21:49 发布自新加坡，悬赏 10 积分
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