Atomic layer deposition of metal and metal oxides: Mechanisms, challenges, and future prospects

原子层沉积材料科学微电子金属商业化沉积（地质）图层（电子）表征（材料科学）催化作用表面改性过程（计算）氧化物纳米技术薄膜储能可扩展性工程物理计算机科学过程开发钛化学多相催化

作者

Vu Hung Anh Tran,S. Cathrin Lims,Nadia Anwar,Muqarrab Ahmed,Nazia Iram,Vinoth Kumar Ponnusamy,Phuong V. Pham

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-09-22 卷期号：1041: 183864-183864 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2025.183864

求助该文献

最长约 10秒，即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: yuntong发布了新的文献求助10

刚刚; 唐若冰完成签到，获得积分10

1秒前; 老马哥完成签到，获得积分0

1秒前; 科目三上传了应助文件

2秒前; 古夕完成签到，获得积分10

2秒前; 刘一完成签到，获得积分0

2秒前; CodeCraft的应助被白华苍松采纳，获得10

3秒前; 笑点低的悒完成签到，获得积分10

3秒前; 小刘不是恋爱脑发布了新的文献求助10

4秒前; 完美世界上传了应助文件

6秒前; 2058753794完成签到，获得积分10

6秒前; 风姿物语完成签到，获得积分10

6秒前; 万物几何发布了新的文献求助10

7秒前; 清新的初雪完成签到，获得积分10

7秒前; 彭于晏上传了应助文件

8秒前; JG完成签到，获得积分10

8秒前; liu完成签到，获得积分10

9秒前; 清脆世界完成签到，获得积分10

9秒前; Yu完成签到，获得积分10

10秒前; 白鹭思一骋完成签到，获得积分10

10秒前; 一天完成签到，获得积分10

11秒前; Xx完成签到，获得积分10

11秒前; 去码头整点薯条发布了新的文献求助10

11秒前; 儿学化学打断腿完成签到，获得积分10

11秒前; bkagyin上传了应助文件

11秒前; 6666完成签到，获得积分10

11秒前; 不入当归完成签到，获得积分10

12秒前; 情怀上传了应助文件

13秒前; 小象完成签到，获得积分10

13秒前; 着急的青丝发布了新的文献求助10

13秒前; 满意机器猫完成签到，获得积分10

14秒前; 眼睛大的初之完成签到，获得积分10

15秒前; Chaos完成签到，获得积分10

16秒前; zhangweiyuan04完成签到，获得积分10

16秒前; 孙国扬发布了新的文献求助10

17秒前; 雨肖完成签到，获得积分10

19秒前; 江枫渔火完成签到，获得积分10

19秒前; 礼已临发布了新的文献求助10

19秒前; 我是老大的应助被闪闪的雨南采纳，获得10

20秒前; 朴素完成签到，获得积分10

20秒前

高分求助中: Prescott's Microbiology: 2026 Release ISE 10000; University Physics with Modern Physics, 16th edition 10000; Cronologia da história de Macau 5000; Merrill's Atlas of Radiographic Positioning and Procedures - 3-Volume Set, 16th Edition 2000; Organic Reactions, Volume 118 1000; Interactions of Vowel Quality and Prosody in East Slavic 1000; Erwählung und Berufung bei Paulus: Bedeutung, Entwicklung und Funktion einer Vorstellung in ihrem frühjüdischen und griechisch-römischen Kontext 850

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 7140554; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8788618; 关于积分的说明 18578055; 捐赠科研通 6729815; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3155689; 关于科研通互助平台的介绍 2283304; 邀请新用户注册赠送积分活动 2130016

今日热心研友

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通