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Atomic layer deposition of metal and metal oxides: Mechanisms, challenges, and future prospects

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作者

Vu Hung Anh Tran,S. Cathrin Lims,Nadia Anwar,Muqarrab Ahmed,Nazia Iram,Vinoth Kumar Ponnusamy,Phuong V. Pham

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-09-22 卷期号：1041: 183864-183864 被引量：16

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2025.183864

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