Study on the polishing performance and mechanism of sapphire wafers by different types of degradable surfactants

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标题	Study on the polishing performance and mechanism of sapphire wafers by different types of degradable surfactants 相关领域材料科学抛光泥浆化学机械平面化薄脆饼蓝宝石表面粗糙度化学工程润湿复合材料纳米技术光学激光器物理工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.surfin.2024.104915
DOI	10.1016/j.surfin.2024.104915 doi
求助人	彭彭在 2025-11-24 19:42:10 发布自中国，悬赏 10 积分
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