压电驱动纳米定位平台跟踪误差估计前馈补偿控制

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标题	压电驱动纳米定位平台跟踪误差估计前馈补偿控制
网址	http://dx.doi.org/10.11977/j.issn.1004-2474.2025.03.025
DOI	10.11977/j.issn.1004-2474.2025.03.025 doi
求助人	咸鱼中下游在 2025-11-22 15:17:23 发布自吉林，悬赏 10 积分
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