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标题
Scheduling of Single-Arm Cluster Tools Handling Multiple Wafer Types Based on Double-Layer Configuration of Processing Modules
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8856/10718645/10335632.p...
DOI
10.1109/tase.2023.3332551 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Automation Science and Engineering
作者：Jufeng Wang; Tingting Leng; Chunfeng Liu; MengChu Zhou; Side Zhao
出版日期：2023-12-01
求助人
李子恒 在 2026-02-02 20:04:31 发布自湖北，悬赏 10 积分
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