Kinetic acceleration of MoS 2 growth by oxy-metal-organic chemical vapor deposition

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标题	Kinetic acceleration of MoS 2 growth by oxy-metal-organic chemical vapor deposition 相关领域化学气相沉积动能二硫化钼材料科学金属有机气相外延碳纤维杂质钼动力学薄膜沉积（地质）增长率化学计量学化学工程化学物理加速度活化能分析化学（期刊）电子迁移率基质（水族馆）金属纳米技术化学反应燃烧化学气相沉积指数增长化学化学动力学氮气无机化学混合物理化学气相沉积
网址	https://doi.org/10.1126/science.aec7259
DOI	10.1126/science.aec7259 doi
其它	期刊：Science 作者：Lei Liu; Yushu Wang; Ruikang Dong; Dongxu Fan; Si Meng; et al 出版日期：2026-01-29
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