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标题
Ultraviolet laser-induced oxidation of silicon: The effect of oxygen photodissociation upon oxide growth kinetics
紫外激光诱导硅氧化：氧光解离对氧化物生长动力学的影响
相关领域
准分子激光器 紫外线 分析化学（期刊） 氧化物 激光器 材料科学 光解 X射线光电子能谱 硅 红外线的 化学 光电子学 光学 光化学 色谱法 冶金 物理 核磁共振
网址
https://doi.org/10.1063/1.341263
DOI
10.1063/1.341263 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：T. E. Orlowski; D. A. Mantell
出版日期：1988-11-01
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科研小白 在 2025-12-21 09:28:29 发布自陕西，悬赏 10 积分
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