Ultraviolet laser-induced oxidation of silicon: The effect of oxygen photodissociation upon oxide growth kinetics

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标题	Ultraviolet laser-induced oxidation of silicon: The effect of oxygen photodissociation upon oxide growth kinetics 紫外激光诱导硅氧化：氧光解离对氧化物生长动力学的影响相关领域准分子激光器紫外线分析化学（期刊）氧化物激光器材料科学光解 X射线光电子能谱硅红外线的化学光电子学光学光化学色谱法冶金物理核磁共振
网址	https://doi.org/10.1063/1.341263
DOI	10.1063/1.341263 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：T. E. Orlowski; D. A. Mantell 出版日期：1988-11-01
求助人	科研小白在 2025-12-21 09:28:29 发布自陕西，悬赏 10 积分
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