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In situ Reaction Mechanism Studies on Atomic Layer Deposition of Ir and IrO2 from Ir(acac)3
Ir（acac）3原子层沉积Ir和IrO2的原位反应机理研究
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1021/cm103490v
DOI
10.1021/cm103490v doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：Kjell Knapas; Mikko Ritala
出版日期：2011-05-06
求助人
调皮初夏 在 2025-06-29 18:19:56 发布自天津，悬赏 10 积分
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