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 Characterizing the composition, structure, and mechanical properties of magnetron sputtering physical vapor deposition TiN and TiSiN coatings 表征磁控溅射物理气相沉积TiN和TiSiN涂层的组成、结构和机械性能
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：G. Zorn; J. Kenneth Salisbury; Jae‐Hyuk Her; Rachel V. Rose; Patrick Shower 出版日期：2023-07-27 |
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