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 Exploring leakage in dielectric films via automated experiments in scanning probe microscopy 通过扫描探针显微镜中的自动化实验探索介电薄膜中的泄漏
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yongtao Liu; Shelby S. Fields; Takanori Mimura; Kyle P. Kelley; Susan Trolier‐McKinstry; et al 出版日期：2022-05-02 |
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