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标题
Room-temperature sputter deposition of gold-colored TiN assisted by niobium bombardment from a bipolar HiPIMS source
双极HiPIMS源的锂轰击辅助金色TiN的室温溅镀
相关领域
材料科学 锡 氮化钛 高功率脉冲磁控溅射 钛 溅射沉积 铌 溅射 氮化铌 氮化物 冶金 离子束辅助沉积 涂层 分析化学（期刊） 复合材料 薄膜 离子束 离子 图层（电子） 纳米技术 化学 有机化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003325
DOI
10.1116/6.0003325 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Iván Fernández-Martínez; Rajesh Ganesan; Behnam Akhavan; D.T.A. Matthews; Michael Stueber; et al
出版日期：2024-02-14
求助人
尖尖 在 2025-07-14 21:25:09 发布，悬赏 10 积分
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