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标题
Chemical reactions and crystallization behavior in thermal ALD of BaTiO3 thin films from bis-(1,2,4 triisopropylcyclopentadienyl)-barium and titanium isopropoxide precursors
双-（1，2，4三异丙基环戊二烯基）钡和异丙醇钛前驱体BaTiO3薄膜热ALD中的化学反应和结晶行为
相关领域
钡 结晶 钛 材料科学 热的 化学工程 薄膜 纳米技术 冶金 物理 工程类 气象学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004385
DOI
10.1116/6.0004385 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：J.M. Chen; Zekai Wang; Typher Yom; Chengyang Zhang; Mark D. Losego; et al
出版日期：2025-06-04
求助人
Zyj 在 2025-08-21 15:54:38 发布自福建，悬赏 10 积分
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