Study on Ozonated Solution Oxidation of Phosphorus Doped Hydrogenated Amorphous Silicon Surface for Cu–Mn Alloy Based Electrodes in Thin Film Transistor - 科研通

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标题	Study on Ozonated Solution Oxidation of Phosphorus Doped Hydrogenated Amorphous Silicon Surface for Cu–Mn Alloy Based Electrodes in Thin Film Transistor 相关领域材料科学薄膜晶体管非晶硅电极合金硅兴奋剂磷化学工程无定形固体晶体管薄膜光电子学冶金纳米技术化学电气工程晶体硅物理化学有机化学电压工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.51.066503
DOI	10.7567/jjap.51.066503 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Haruhiko ASANUMA; Takaaki Suzuki; Toshiaki Kusunoki 出版日期：2012-06-01
求助人	阿木在 2025-10-09 16:08:12 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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