Heterogeneous integration of thick GaN and polycrystalline diamond at room temperature through dynamic plasma polishing and surface-activated bonding

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标题	Heterogeneous integration of thick GaN and polycrystalline diamond at room temperature through dynamic plasma polishing and surface-activated bonding 动态等离子体抛光和表面活化结合常温下厚GaN与聚晶金刚石的异质集成相关领域抛光材料科学钻石复合材料残余应力无定形固体光电子学结晶学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.174075
DOI	10.1016/j.jallcom.2024.174075 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Runhua Gao; Xinhua Wang; Fengwen Mu; Xiaojing Li; Chong Wei; et al 出版日期：2024-03-06
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