Methods for automatically obtaining the sputtering-induced roughness upon depth profiling of polycrystalline films - 科研通

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标题	Methods for automatically obtaining the sputtering-induced roughness upon depth profiling of polycrystalline films
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004323
DOI	10.1116/6.0004323 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Gong-Wen Liu; Jin-Peng Ye; Zhi Tan; Songyou Lian; Xin-Liang Yan; et al 出版日期：2025-02-18
求助人	研友_842xWn 在 2026-07-09 16:22:54 发布自广东，悬赏 10 积分
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