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Sublimation Growth of 4 and 6 Inch 4H-SiC Low Defect Bulk Crystals in Ta (TaC) Crucibles Ta(TaC)坩埚中4和6英寸4H-SiC低缺陷块体晶体的升华生长
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期刊:Materials Science Forum 作者:Yuri Makarov; D. P. Litvin; Alexander V. Vasiliev; S. S. Nagalyuk 出版日期:2016-05-24 |
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