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Study on the influence of coil configuration on electromagnetic characteristics of inductively coupled plasma superimposed frequency selective surface
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网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110373
DOI
10.1016/j.vacuum.2021.110373 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Yipeng Chang; Xiaolong Wei; Haojun Xu; Xinmin Han; Binbin Pei; et al
出版日期：2021-06-09
求助人
七秒 在 2025-11-13 15:26:20 发布自中国，悬赏 10 积分
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