High-precision and high-speed surface topography measurement method of microstructures based on laser scanning transverse differential confocal

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标题	High-precision and high-speed surface topography measurement method of microstructures based on laser scanning transverse differential confocal
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S026322412...
DOI	10.1016/j.measurement.2024.114208 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Sen Yu; Zhenru Wang; Lirong Qiu; Qidai Chen; Weiqian Zhao 出版日期：2024-01-21
求助人	徐德民在 2026-09-04 16:36:21 发布自北京，悬赏 10 积分
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