Mass-analyzed CFx+ (x=1,2,3) ion beam study on selectivity of SiO2-to-SiN etching and a-C:F film deposition - 科研通

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标题	Mass-analyzed CFx+ (x=1,2,3) ion beam study on selectivity of SiO2-to-SiN etching and a-C:F film deposition
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.18547...
DOI	10.1063/1.1854726 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Ken-ichi Yanai; Kazuhiro Karahashi; Kenji Ishikawa; Moritaka Nakamura 出版日期：2005-02-09
求助人	www 在 2026-09-01 18:07:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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