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标题
Effect of inner crucible structure on oxygen transport and distribution in the continuous-feeding Czochralski growth of silicon crystal
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DOI
10.1016/j.jcrysgro.2025.128278 doi
其它 期刊:Journal of Crystal Growth
作者:D. Li; Changzhen Wang; Chao Qi; Jiancheng Li; Zeqi Zhong; et al
出版日期:2025-06-04
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