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标题
Etching and fluorination of yttrium oxide (Y2O3) irradiated with fluorine ions or radicals
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004137
DOI
10.1116/6.0004137 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Hojun Kang; Tomoko Ito; Junghwan Um; H. Kokura; S.I. Cho; et al
出版日期：2025-01-01
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怡然未来 在 2026-07-16 15:47:53 发布自江苏，悬赏 10 积分
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