Evidence of direct SiO2 etching by fluorocarbon molecules under ion bombardment - 科研通

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标题	Evidence of direct SiO2 etching by fluorocarbon molecules under ion bombardment 离子轰击下氟碳分子直接刻蚀SiO2的证据
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.18294...
DOI	10.1063/1.1829400 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：N. Takada; H. Toyoda; I. Murakami; H. Sugai 出版日期：2004-12-21
求助人	爱咋咋滴在 2025-02-17 01:32:56 发布自上海，悬赏 10 积分
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