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 Fabrication of high-density In2Ga2ZnO7 sputtering target with uniform microstructure 高密度均匀组织In2Ga2ZnO7溅射靶的制备
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jiang‐An Liu; Chen‐Hui Li; Yang Zou; Liang Hu; Yusheng Shi 出版日期：2020-08-17 |
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