Flexible tuned, multi-focus laser stealth dicing of JGS3 quartz glass: From algorithm to practice

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标题	Flexible tuned, multi-focus laser stealth dicing of JGS3 quartz glass: From algorithm to practice JGS3石英玻璃柔性调谐多焦点激光隐身切割：从算法到实践相关领域晶片切割材料科学光学激光器光学（聚焦）石英同轴焦点深度（构造）梁（结构）激光束计算机科学光电子学薄脆饼物理地质学复合材料电信古生物学俯冲构造学
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2023.110164
DOI	10.1016/j.optlastec.2023.110164 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Jianchun Cheng; Zhiwei Zhang; Zundu Luo; Feng Xie; Songtao Liu; et al 出版日期：2024-03-01
求助人	崔迎松在 2023-12-07 10:58:52 发布自湖北，悬赏 10 积分
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