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标题
Properties of AlN grown by plasma enhanced atomic layer deposition
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DOI
10.1016/j.apsusc.2011.04.037 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Markus Bosund; Timo Sajavaara; Mikko Laitinen; Teppo Huhtio; Matti Putkonen; et al
出版日期:2011-04-20
求助人
左诗云 在 2026-03-12 12:16:54 发布自上海,悬赏 10 积分
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