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基于针孔点衍射干涉的纳米位移测量方法
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| 其它 | 摘要：面向超精密加工技术、芯片制造技术等精密制造领域等对纳米级位移测量精度的迫切需求，提出了一种基于针孔球面波干涉条纹分析的高精度纳米位移测量方法。该方法将针孔点衍射产生的理想球面波前与被测反射平面干涉所得同心圆条纹应用于法向位移检测。为避免多帧点衍射技术中由于依赖压电陶瓷(Piezoelectric Ceramic, PZT)相移器而带来的温漂和时序同步问题，提出双帧无相移空间域多环条纹自动识别、圆心精确定位，并基于局部极值提取有效环带数据，经过基于正态分布假设的异常值剔除机制后进行平均位移的计算。 |
| 求助人 | |
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(2025-6-4)
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