Unraveling crosslinking effects in EUV metal oxide photoresist performance via large-scale atomistic simulations

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标题	Unraveling crosslinking effects in EUV metal oxide photoresist performance via large-scale atomistic simulations
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090801
DOI	10.1117/12.3090801 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Ching-Yu Huang; Gyeong Hwang; Peter Ventzek; Shyam Sridhar; Zhiying Chen; et al 出版日期：2026-04-10
求助人	皮三问在 2026-04-16 15:22:18 发布自上海，悬赏 20 积分
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