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 ZnO bilayer thin film transistors using H2O and O3 as oxidants by atomic layer deposition 以H2O和O3为氧化剂的原子层沉积ZnO双层薄膜晶体管
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期刊：Acta materialia 作者：Xue Chen; Jiaxian Wan; Hao Wu; Chang Liu 出版日期：2020-02-01 |
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