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标题
Effects of Oxygen Flow Ratio and Thermal Annealing on Defect Evolution of Aluminum Doped Zinc Oxide Thin Films by Reactive DC Magnetron Sputtering
氧流量和退火对反应直流磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜缺陷演化的影响
相关领域
材料科学 薄膜 带隙 X射线光电子能谱 兴奋剂 接受者 溅射沉积 溅射 电子迁移率 退火(玻璃) 杂质 分析化学(期刊) 氧化物 光电子学 化学工程 纳米技术 化学 冶金 凝聚态物理 物理 有机化学 工程类 色谱法
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DOI
10.1088/1361-648X/ac1f50 doi
求助人
许熙 在 2024-05-26 14:40:22 发布自美国,悬赏 10 积分
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