标题 |
Wafer-scale single-crystalline β-Ga2O3 thin film on SiC substrate by ion-cutting technique with hydrophilic wafer bonding at elevated temperatures
高温亲水性键合离子切割技术在SiC衬底上制备单晶β-Ga2O3薄膜
相关领域
材料科学
薄脆饼
基质(水族馆)
薄膜
阳极连接
复合材料
水泡
表面粗糙度
碳化硅
晶片键合
光电子学
纳米技术
海洋学
地质学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Science China. Materials 作者:Zhongshan Shen; Wenhui Xu; Yang Chen; Jiajie Lin; Yuhuan Xie; et al 出版日期:2022-09-30 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|