High-Performance Oxide Thin-Film Transistors with Atomic Layer Deposition-Grown HfO2/BeO Hetero-Dielectric

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标题	High-Performance Oxide Thin-Film Transistors with Atomic Layer Deposition-Grown HfO2/BeO Hetero-Dielectric 相关领域原子层沉积材料科学电介质图层（电子）氧化物光电子学高-κ电介质薄膜晶体管晶体管沉积（地质）薄膜纳米技术分析化学（期刊）化学冶金电气工程电压生物工程类古生物学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.5c00552
DOI	10.1021/acs.nanolett.5c00552 doi
其它	期刊：Nano Letters 作者：Sein Lee; Yoonseo Jang; Wooho Ham; Jonghyun Bae; Kyunghwan Kim; et al 出版日期：2025-04-21
求助人	俭朴的月亮在 2026-02-05 20:56:39 发布自贵州，悬赏 10 积分
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