Influence of microwave annealing on optical and electrical properties of plasma-induced defect structures in Si substrate - 科研通

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标题	Influence of microwave annealing on optical and electrical properties of plasma-induced defect structures in Si substrate
网址	https://doi.org/10.1116/1.4927128
DOI	10.1116/1.4927128 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Takaaki Iwai; Koji Eriguchi; Shohei Yamauchi; Naotaka Noro; Junichi Kitagawa; Kouichi Ono 出版日期：2015
求助人	李昂岚在 2026-02-03 16:47:27 发布自四川，悬赏 10 积分
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