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标题
Growth of Thick ε(κ)-Ga2O3 Films by Halide Vapor Phase Epitaxy
卤化物气相外延生长ε(κ)-Ga2O3厚膜
相关领域
外延 卤化物 气相 材料科学 相(物质) 光电子学 复合材料 化学 无机化学 热力学 物理 有机化学 图层(电子)
网址
DOI
10.1134/s1063785023900583 doi
其它 期刊:Technical Physics Letters
作者:S. I. Stepanov; А. И. Печников; M. P. Scheglov; A. V. Chikiryaka; В. И. Николаев
出版日期:2023-12-01
求助人
wukai513 在 2025-12-06 12:52:19 发布自河北,悬赏 10 积分
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