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 Cost-effective fabrication of RF AlGaN/GaN HEMTs on surface activated bonding-bonded SiC-SiC substrate 表面活化键合SiC-SiC衬底上射频AlGaN/GaN HEMTs的低成本制备
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Guanjun Jing; Xiangjie Xing; Dongguo Zhang; Fengwen Mu; Sen Huang; et al 出版日期：2025-01-01 |
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