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标题
Cost-effective fabrication of RF AlGaN/GaN HEMTs on surface activated bonding-bonded SiC-SiC substrate
表面活化键合SiC-SiC衬底上射频AlGaN/GaN HEMTs的低成本制备
相关领域
材料科学 制作 宽禁带半导体 光电子学 基质(水族馆) 碳化硅 纳米技术 复合材料 医学 海洋学 地质学 病理 替代医学
网址
DOI
10.1116/6.0004066 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science and technology
作者:Guanjun Jing; Xiangjie Xing; Dongguo Zhang; Fengwen Mu; Sen Huang; et al
出版日期:2025-01-01
求助人
xiaoxiao 在 2025-12-06 14:59:42 发布自江西,悬赏 10 积分
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