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 Diamond Immersion Photodetector for 193 nm Lithography 用于193 nm光刻的金刚石浸没式光电探测器
相关领域
光电探测器
材料科学
浸没式光刻
沉浸式（数学）
光电子学
响应度
平版印刷术
光学
钻石
纳米技术
抵抗
复合材料
物理
数学
图层（电子）
纯数学
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期刊：Advanced Optical Materials 作者：Lap‐Tak Cheng; Zhao Wang; Wei Zheng 出版日期：2023-08-30 |
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