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Impact of doping and silicon substrate resistivity on the blistering of atomic-layer-deposited aluminium oxide
掺杂和硅衬底电阻率对原子层沉积氧化铝起泡的影响
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期刊:Applied surface science 作者:J. Ott; Toni P. Pasanen; A. Gädda; M. Garín; Kawa Rosta; et al 出版日期:2020-08-01 |
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