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 From Top to Down—Recent Advances in Etching of 2D Materials 从上到下——二维材料蚀刻的最新进展
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
反应离子刻蚀
纳米技术
各向同性腐蚀
干法蚀刻
过程（计算）
计算机科学
操作系统
图层（电子）
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期刊：Advanced Materials Interfaces 作者：Minghui Li; Lin Li; Yixuan Fan; Fei Jiao; Dechao Geng; et al 出版日期：2022-09-16 |
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