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 Polycrystalline AlN films of fine crystallinity prepared by ion-beam assisted deposition 离子束辅助沉积制备细晶AlN多晶薄膜
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Jie Yang; Chen Wang; Xinshui Yan; Kun Tao; Baixin Liu; et al 出版日期：1993-05-31 |
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