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标题
Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling
基于稳态多物理模型的4英寸金刚石膜沉积高效MPCVD反应器的设计与优化
相关领域
多物理 稳态（化学） 钻石 材料科学 沉积（地质） 核工程 纳米技术 光电子学 物理 复合材料 化学 工程类 有限元法 热力学 地质学 古生物学 物理化学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.diamond.2025.112446
DOI
10.1016/j.diamond.2025.112446 doi
其它 期刊：Diamond and Related Materials
作者：Wencong Zhang; Yong Yang; Huacheng Zhu; Xiaoshan Peng; Hongxing Tian; et al
出版日期：2025-05-01
求助人
Jiatu_Li 在 2025-07-12 14:18:12 发布自贵州，悬赏 10 积分
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