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Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling

多物理 稳态（化学） 钻石 材料科学 沉积（地质） 核工程 纳米技术 光电子学 物理 复合材料 化学 工程类 有限元法 热力学 地质学 古生物学 物理化学 沉积物
作者
Wencong Zhang,Yong Yang,Huacheng Zhu,Xiaoshan Peng,Hongxing Tian,Dongxue Han,Renyu Peng,Li Wu,Wenyan Tian,Junwu Tao
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：2025-05-01 卷期号：: 112446-112446
标识
DOI：10.1016/j.diamond.2025.112446
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