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 Study on the Effect of Polishing Pad on Catalytic Composite Abrasive Clusters Friction Chemical Mechanical Polishing Single Crystal SiC Substrate 抛光垫对催化复合磨粒团簇摩擦化学机械抛光晶体SiC基片影响的研究
相关领域
材料科学
抛光
机械加工
磨料
复合材料
碳化硅
表面粗糙度
复合数
表面光洁度
化学机械平面化
研磨
扫描电子显微镜
冶金
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| 其它 |
期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Min Chang; Zhankui Wang; Yipeng Feng; Yihang Fan; Zhicheng Zhao; et al 出版日期：2025-01-23 |
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