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Nanopatterning and Characterization of Inorganic Films Grown by Atomic Layer Deposition on Silicon and Graphene Substrates
硅和石墨烯衬底上原子层沉积无机薄膜的纳米图案化和表征
相关领域
原子层沉积
表征（材料科学）
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期刊：PhDT 作者：Justice M. P. Alaboson 出版日期：2012-01-01 |
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