Structure, composition and mechanical properties of reactively sputtered (TiVCrTaW)Nx high-entropy films

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标题	Structure, composition and mechanical properties of reactively sputtered (TiVCrTaW)Nx high-entropy films 反应溅射(TiVCrTaW)Nx高熵薄膜的结构、成分和力学性能相关领域材料科学微观结构合金氮化物氮气溅射沉积氩化学计量学溅射薄脆饼高熵合金复合材料分析化学（期刊）薄膜化学纳米技术物理化学图层（电子）有机化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2022.166620
DOI	10.1016/j.jallcom.2022.166620 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Yuchun Tu; Xuan Liu; Jiaoling Zhao; Yanyan Yuan; Benyuan Cheng; et al 出版日期：2022-08-03
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