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Modeling of the removal mechanism of monocrystalline silicon-based on phase change-dislocation theory and its edge chipping damage during micro-grinding 基于相变位错理论的单晶硅微磨削去除机理建模及其边缘碎裂损伤
相关领域
研磨
材料科学
单晶硅
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期刊:Precision Engineering 作者:Wei Li; Zhipeng Li; Jun Yang; Yinghui Ren; Yi Jiao; et al 出版日期:2021-03-18 |
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