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Modeling of the removal mechanism of monocrystalline silicon-based on phase change-dislocation theory and its edge chipping damage during micro-grinding
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作者
Wei Li,
Zhipeng Li,
Jun Yang,
Yinghui Ren,
Yi Jiao,
Hussien Hegab,
Ahmed Mohamed Mahmoud Ibrahim
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期：2021-03-18
卷期号：71: 103-118
被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2021.03.001
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