Lowering the activation temperature of Ti-Zr-V non-evaporable getter films by removing surface carbon contamination: an in situ XPS study

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标题	Lowering the activation temperature of Ti-Zr-V non-evaporable getter films by removing surface carbon contamination: an in situ XPS study 通过去除表面碳污染降低Ti-Zr-V非蒸发吸气剂薄膜的活化温度：原位XPS研究相关领域原位 X射线光电子能谱吸气剂污染碳纤维材料科学分析化学（期刊）化学工程环境化学化学复合材料光电子学复合数生物生态学工程类有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114063
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114063 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：J. Fraxedas; Guillaume Sauthier; Larry Tran; Vincent Carlino 出版日期：2025-01-01
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