Lowering the activation temperature of Ti-Zr-V non-evaporable getter films by removing surface carbon contamination: an in situ XPS study

原位 X射线光电子能谱 吸气剂 污染 碳纤维 材料科学 分析化学(期刊) 化学工程 环境化学 化学 复合材料 光电子学 复合数 生物 生态学 工程类 有机化学
作者
Jordi Fraxedas,Guillaume Sauthier,Larry Tran,Vincent Carlino
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:: 114063-114063
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114063
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