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标题
Study on elementary gas-phase reaction kinetics and chemical vapor deposition modeling from methyltrichlorosilane
甲基三氯氢硅基元气相反应动力学及化学气相沉积模拟研究
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网址
https://doi.org/10.1116/6.0004201
DOI
10.1116/6.0004201 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Botao Song; Bing Gao; Sheng Liu
出版日期：2025-02-04
求助人
精灵半岛 在 2025-07-05 09:57:27 发布自山西，悬赏 10 积分
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