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Recent Developments and Applications of TiN-Based Films Synthesized by Magnetron Sputtering
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锡 材料科学 溅射沉积 涂层 溅射 物理气相沉积 氮化钛 摩擦学 冶金 高功率脉冲磁控溅射 腔磁控管 表面工程 复合材料 薄膜 氮化物 纳米技术 图层(电子)
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DOI
10.1007/s11665-023-08273-x doi
其它 期刊:Journal of Materials Engineering and Performance
作者:Sayan Atta; U. NarendraKumar; K. V. A. N. P. S. Kumar; D. P. Yadav; Sitaram Dash
出版日期:2023-05-24
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